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1. FWS-1000¹âÆ×ÒÇÌصã
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3. ƵÂÊÎȶ¨ÐÔ£º£¼0.1%
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5. Êä³ö¹¦ÂÊÎȶ¨ÐÔ£º£¼0.2%
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5£® ɨÃ貨³¤¹æÄ££º
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6£® ½øµç»úÇý¶¯²½¾à: ¡Ü0.0006 nm
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2400Ïß/mm 0.4nm/mm
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(4) Êä³ö¹¦ÂÊ£º800£1200w
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(1) ÊäʧÊÂÇéÏßȦÄÚ¾¶25mm£¬3ÔÑ
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4) ˫ͲÐÎÎíÊÒÍ⾶34mm
(5) ë²ÆøÁ÷¼Æ¹æ¸ñºÍÔØÆøѹÁ¦±í¹æ¸ñ£º
¢Ù¡¢ µÈÀë×ÓÌåÁ÷Á¿¼Æ£¨100-1000£©L/h
(1.6-16L/min)
¢Ú¡¢ ¸¨ÖúÆøÁ÷Á¿¼Æ£¨10-100£©L/h
Auxiliary gas flow meter£¨10-100£©L/h
(0.16-1.66L/min)
¢Û¡¢ ÔØÆøÁ÷Á¿¼Æ£¨10-100£©L/h
(0.16-1.66L/min)
¢Ü¡¢ ÔØÆøÎÈѹ·§£¨0-0.4MPa£©
(3) ͬÖáÐÍÅçÎíÆ÷Í⾶6mm
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(1) ¹âµç±¶Ôö¹Ü¹æ¸ñ£º R212UH»òR928
(2) ¹âµç±¶Ôö¹Ü¸º¸ßѹ£º200-1000V
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(3) ¹âµç±¶Ôö¹ÜµçÁ÷ÕÉÁ¿¹æÄ££º10-12 -10-4A
(4) ÐźÅÊÕÂÞΪV/F½»»»£º1mV¶ÔÓ¦100Hz
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(2) ½¹¾à: 1000mm
(3) ¹âÕ¤¹æ¸ñ£ºÀë×Ó¿ÌÊ´È«Ï¢¹âÕ¤£¬¿ÌÏßÃܶÈ3600Ïß/mm£¬
(4) ²¨³¤¹æÄ££º195-500nm
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(5) Çø·ÖÂÊ: ¡Ü1.008nm
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(7) ²½½øµç»úÇý¶¯²½¾à£º0.0006nm
(8) ³öÉä¡¢ÈëÉäÏÁ·ì£º20¦Ìm
(9) ·¢Éä¾µ¹æ¸ñ£º£¨78 X 105 X 16£©mm
(10) ͸¾µ§æ30£¬1£º1³ÉÏñ
(11) ·Ö¹âÆ÷ºãÎÂ×°Öãº32¡æ¡À1¡æ
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